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USM series

High Precision Slicing Machine

USM seriesのイメージ

単刃や多刃のダイヤモンドブレードを使用し、ガラス、SiC、ファインセラミックスなどの硬脆性材の切断、溝入れ加工が可能です。

特  長

超精密空気静圧軸受主軸採用、2、3、4インチの各ブレード径に対応した3タイプから選択可能
負荷の大きなマルチブレード研削が可能
オートアライメント、チャック上面検知、砥石径検知などの自動化機能を搭載
ユーザフレンドリなタッチパネル式HMI(ヒューマン・マシン・インターフェイス)を採用
オートローダ対応可能

超精密空気静圧軸受スピンドル

弊社開発・製作の高剛性空気静圧軸受スピンドルを搭載。同期電動機を採用*1)し、高回転精度を図ると共に、使用ブレードに対して最適なスピンドルを提供いたします。
*1)一部誘導電動機も採用しています。

高精度送り・位置決め機構

超精密V-V型動圧案内

ワーク送り軸(X軸)の案内面にはキサゲ技能により仕上げられた超精密V-V型動圧案内を採用、真直性が高い、滑らかな送りを実現しました。工具位置決め軸(Y軸)と工具切り込み軸(Z軸)には高分解能リニアスケールを搭載し※1) 、スケールフィードバックによる高精度位置決めを実現、またUSM-20B(H)のY軸駆動にはリニアモータ駆動を採用し※2)、より高い工具位置決め精度へのご要求に対応しました。
※1)USM-8DのZ軸はオプション
※2)X,Z軸およびUSM-8DのY軸は高精度ボールねじ駆動

機上ツルーイング

放電式ツルーイング

放電式とメカ式(ロータリーツルーアによる)の2種類のツルーイング機能をオプション設定。機上にてブレードの振れ取りや成形・修正を行うことで、溝形状の高精度化や工具コスト削減に貢献します。

マルチブレード加工

高剛性の空気静圧軸受スピンドルの採用により、大負荷のマルチブレード加工が可能です。シングルブレード加工と比較して、加工能率の増大により、圧倒的な生産性向上が図れます。

4枚マルチブレード
組込み状態
16枚マルチブレードに
よる加工例
(光通信用多層膜フィルタ)

ブレード径・ワーク表面検知機能

ギャップエリミネートおよび切込み深さの自動化に不可欠の、高精度ブレード径検出およびワーク表面検出装置を提供します。

光電式ブレード径検出装置
導電式チャック表面
検出装置
オートフォーカス式
ワーク表面検出装置
(特許出願中)

フライカット加工

ダイヤモンドバイトによるフライカット加工により、Cu等の軟質金属の薄膜加工が可能

製品仕様・オプション等は下記よりご覧ください。